引線鍵合中的雜質(zhì)有哪些？

鹵素來源

等離子 (RIE) 蝕刻（干法）- 可能會(huì)留下鹵素

環(huán)氧樹脂脫氣 - 污染盤

氧化硅蝕刻-焊盤

溶劑（TCA、TCE、氯氟甲烷）- 墊上的鹵素

光刻膠

電污染物

鉈，拋光劑，帶領(lǐng)，鐵，銅，銀，氫

硫源一 - 引起腐蝕，降低粘合性

包裝容器，環(huán)境空氣，紙板和紙，橡膠制品

各種抑制粘合性的有機(jī)污染物

環(huán)氧樹脂脫氣，光刻膠，環(huán)境空氣一般（存放不當(dāng)），唾液 - 目前很少見

其他引起腐蝕或抑制粘合性的物質(zhì)

鈉，鉻，磷，鎘，水蒸氣，玻璃、蒸氣氧化物、氮化物，碳，銀，銅，錫，鈦

大多數(shù)軟氧化物（例如 Ni、Cu、Ti）