噴冰工藝可以使用在哪些領(lǐng)域

冰噴射的一項(xiàng)創(chuàng)新應(yīng)用是在制造過(guò)程中對(duì)零件進(jìn)行去毛刺和去污處理。該工藝對(duì)鋁和黃銅等軟金屬有效，但也可以去除鋼和鐵的毛刺，具體取決于直徑大小及其與零件的粘附強(qiáng)度。噴冰也已成功應(yīng)用于聚乙烯和聚丙烯等非金屬材料，但工藝參數(shù)仍需要針對(duì)該應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化。復(fù)雜零件容易去毛刺，大大小小的毛刺都能去除。小毛刺通常難以去除，因?yàn)樗鼈兊那安棵娣e小且基臺(tái)長(zhǎng)。經(jīng)冰刀去污、去毛刺后，零件表面可保持光潔光滑。與大多數(shù)金屬部件一樣，零件在去毛刺步驟后應(yīng)立即干燥，以防止腐蝕、氧化和生銹。

一種使用直徑為 0.1-300μm 的超凈薄冰對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行去污的方法。通過(guò)調(diào)節(jié)冰粒硬度、射流壓力和射流角度來(lái)控制對(duì)晶圓表面的影響。它可以準(zhǔn)確地去除晶圓表面的亞微米顆粒（直徑<0.3um）和有機(jī)污染物，如指紋、油脂和油性墨水。這種去污方法經(jīng)過(guò)改進(jìn)，增加了一個(gè)加速冰射流的機(jī)構(gòu)，這些電極由高頻交流電源連接，每個(gè)電極在冰粒運(yùn)動(dòng)方向上的長(zhǎng)度是可調(diào)的。

根據(jù)冰粒的速度進(jìn)行調(diào)整，去污方法的另一種改進(jìn)是使用含有過(guò)氧化氫的冰粒，用從融化的冰粒-H2O2混合物中得到的H2O2溶液對(duì)表面進(jìn)行物理和化學(xué)去污。

許多研究使用冰噴霧去污方法對(duì)晶圓進(jìn)行去污，并評(píng)估了去污過(guò)程的主要變量對(duì)去污效率的影響。冰粒去污效率達(dá)95%以上。去污效率受顆粒的質(zhì)量濃度、腔室壓力以及噴嘴與基板之間的距離的影響。

冰噴射已成功用于去除計(jì)算機(jī)硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器上的污染物。將硬盤(pán)表面涂漆，然后用直徑為0.5~3mm的冰粒以35g/min的冰流量在硬盤(pán)表面噴灑2分鐘。去污后硬盤(pán)工作正常，硬盤(pán)上的音頻文件聲音沒(méi)有變化。其他示例包括液晶顯示器、電路板、太陽(yáng)能電池板組件、光學(xué)組件的放大鏡的去污，以及從薄膜表面到基底的去污，這些去污在去除污漬后在表面的目測(cè)或顯微鏡檢查中未觀察到。